Платформа НАНОФАБ 100: ВВ Кластер
Особенностью высоковакуумного кластера нанолокальных и групповых технологий является проведение нанолокальных стимулированных процессов газофазного осаждения/травления. Нанолокальность обеспечивается фокусированными ионными пучками и сканирующими острийными зондами.
Наличие модуля импульсного лазерного осаждения обеспечивает получение разнообразных подложек высокой степени чистоты для формирования наноструктур. При этом наличие СЗМ ГИС обеспечивает получение и контроль получаемых наноструктур с субнанометровым разрешением.
Габаритные размеры кластера - 325х490 см.
В состав кластера входят:
