Платформа НАНОФАБ 100: СВВ Кластер

Особенностью сверхвысоковакуумного кластера нанолокальных технологий является проведение процессов с применением фокусированных ионных пучков в условиях сверхвысокого вакуума, что обеспечивает предельную чистоту поверхности формируемых структур.

При этом наличие СВВ СЗМ обеспечивает контроль получаемых структур с субнанометровым разрешением. 

Габаритные размеры кластера - 300х470 см.

В состав кластера входят: 

• Модуль СВВ СЗМ - СВВ модуль сканирующего зондового микроскопа
• Модуль СВВ ФИП - СВВ модуль ФИП нанообработки 
• Модуль ФИП Имп - СВВ имплантационный модуль ФИП
• Транспортный модуль - СВВ радиальный транспортный модуль
• Модуль загрузки - модуль загрузки и хранения образцов
• Модуль переворота - СВВ модуль переворота и передачи пластин