Платформа НАНОФАБ 100: Модули транспортной системыМодули транспортной системы предназначены для загрузки/выгрузки, транспортировки, межоперационного хранения образцов и других операций, не связанных непосредственно с технологическими операциями и исследованиями поверхности. К ним относятся:
 
|
|
|
|
|||||||||||
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
Copyright © 1998 - 2012, NT-MDT