Платформа НАНОФАБ 100: Модули групповых технологийМодули групповых технологий предназначены для проведения технологических процессов одновременно по всей поверхности подложки, включая процессы осаждения, травления и ростовые процессы, к ним относятся: Модули молекулярно-лучевой эпитаксии
 Модули плазменных процессов
 Модуль лазерного осаждения
 Модуль магнетронного напыления
|
|
|
|
|||||||||||
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
Copyright © 1998 - 2012, NT-MDT