Платформа НАНОФАБ 100: Модули нанолокальных технологий

Модули нанолокальных технологий предназначены для проведения процессов последовательной локальной модификации поверхности с использованием фокусированных ионных пучков и острийных зондов, включая процессы роста, травления, распыления, имплантации и пр. К ним относятся: