Платформа НАНОФАБ 100
Информационная брошюра 
(15,9 Mb)
НАНОФАБ 100 является модульной технологической платформой для формирования нанотехнологических комплексов (НТК) с кластерной компоновкой, включающих технологические установки с возможностями групповых и нанолокальных методов обработки подложек диаметром до 100 мм. При формировании НТК кластеры связываются в технологические цепочки через модули межоперационной передачи и складирования образцов. Это позволяет на основе платформы НАНОФАБ 100 создавать Нанофабрики для создания полнофункциональных наноструктур, наноустройств и наносистем на их основе.
