Платформа НАНОФАБ 100: Структура

Богатейшие возможности НАНОФАБ 100 реализуются за счет правильно выбранной кластерной компоновочной схемы – связь между образующими кластер функционально объединенными технологическими модулями осуществляется с помощью сверхвысоковакуумного радиального робота-раздатчика. Это обеспечивает минимальное время межоперационной передачи образцов и, соответственно, сохранение совершенно необходимой в нанотехнологии атомарной чистоты поверхности.

Наличие модулей передачи подложек с устройствами переворота обеспечивает возможность проведения сложных технологических циклов с включением групповых и нанолокальных процессов. Развитая транспортная система с модулями межоперационного хранения подложек позволяет в одном НТК НАНОФАБ 100 реализовать одновременно несколько технологических циклов на нескольких подложках. Помимо модулей в состав НАНОФАБ 100 входят также и отдельные технологические, контрольные, измерительные, аналитические и др. устройства. Модули платформы НАНОФАБ 100 могут функционировать как в составе НТК, так и автономно, в отдельных случаях, возможно, с использованием вспомогательных загрузочных устройств или модулей загрузки.